Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд за автором "Борисенко, А.Г."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд за автором "Борисенко, А.Г."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники 
    Борисенко, А.Г. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2013)
    Описан источник потоков плазмы твердофазных материалов, генерируемых вакуумно-дуговым разрядом в парах диффузно испаряемого анода. Источник способен эффективно создавать бескапельные потоки плазмы различных металлов в ...
  • Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия 
    Борисенко, А.Г.; Полозов, Б.П.; Федорович, О.А.; Болтовец, Н.С.; Иванов, В.Н.; Свешников, Ю.Н. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005)
    Описаны особенности технологии травления сложных наноструктур, содержащих эпитаксиальные слои нитрида галлия, нанесенные на подложки из сапфира. Изготовлены высокотемпературные датчики Холла.
  • Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления 
    Болтовец, Н.С.; Борисенко, А.Г.; Иванов, В.Н.; Федорович, О.А.; Кривуца, В.А.; Полозов Б.П. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
    Представлены результаты исследования и оптимизации процесса формирования карбидокремниевой мезаструктуры для p-i-n-диода на промышленной технологической базе. Исследованы характеристики диодов в интервале температуры 25-500 °С.